镀膜设备

派瑞林HT镀膜机定制
发布日期:2023-06-05 15:25 发布人:admin
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产品名称:VPC-300-HT  Parylene镀膜设备
蒸发原料:parylene  HT/ C/D/N/F
控制系统:西门子PLC控制系统
电    源:380V 五线 4平方以上电缆,正常功率2KW
设备尺寸:1580*880*1550mm
腔体尺寸:Φ300 xH400mm
腔体容积:28 L
蒸发室温度:≥200°C
裂解室温度:<1200°C
真 空 计:日本爱发科,1-1000Mtorr
真 空 泵:抽速8L/S
冷   阱 :  最低冷凝温度低于-90℃
设备特点:设备配备常温、低温沉积双系统
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