生物相容性、高绝缘(5000V)

耐体液腐蚀、生物相容性、增加内壁润滑

干润滑、防吸灰、抗老化

防水、防潮、耐高温、耐紫外照射

隔绝水氧、耐腐蚀

产品名称：VPC-300-HT  Parylene镀膜设备
蒸发原料：parylene  HT/ C/D/N/F
控制系统：西门子PLC控制系统
电    源：380V 五线 4平方以上电缆，正常功率2KW
设备尺寸：1580*880*1550mm
腔体尺寸：Φ300 xH400mm
腔体容积：28 L
蒸发室温度：≥200°C
裂解室温度：＜1200°C
真 空 计：日本爱发科，1-1000Mtorr
真 空 泵：抽速8L/S
冷   阱 ：  最低冷凝温度低于-90℃
设备特点：设备配备常温、低温沉积双系统