派瑞林HT镀膜机定制
产品名称:VPC-300-HT Parylene镀膜设备
蒸发原料:parylene HT/ C/D/N/F
控制系统:西门子PLC控制系统
电 源:380V 五线 4平方以上电缆,正常功率2KW
设备尺寸:1580*880*1550mm
腔体尺寸:Φ300 xH400mm
腔体容积:28 L
蒸发室温度:≥200°C
裂解室温度:<1200°C
真 空 计:日本爱发科,1-1000Mtorr
真 空 泵:抽速8L/S
冷 阱 : 最低冷凝温度低于-90℃
设备特点:设备配备常温、低温沉积双系统