Parylene涂敷属于气相沉积,整个生产过程不存在液态,因此涂层也不存在通常液体涂层所很难避免的边角效应及流挂现象。Parylene高度同形性, 底面、内表面、边缘及侧面均匀涂层。在整个Parylene聚合过程中不会释放溶剂，因为该过程在环境温度下进行，涂层或裹有涂层的物体内不会产生热应力、机械应力或化学固化应力。与液体涂层不同，Parylene的涂敷具有一致性，因而它对基材表面的作用能多次重复，可以预见。由于沉积过程中充满气体，涂层材料在使用时就不会产生固化应力。

        Parylene的用量非常小，这样涂层和基材之间的热膨胀系数就不会有很大差别,几乎不存在任何膨胀/收缩及变形等. 传统的喷涂、浸渍或刷涂的液体涂层可能会适用于某些线圈绕组，但是这些材料有许多隐患。例如，固化液体涂层的厚度取决于它们溶剂的浓度，弯月面和表面张力也会将涂层从尖锐的棱角边缘划落下来，在未完全固化前就聚集在角落里。液体涂敷的平均固化厚度一般在0.005至0.010英寸之间。在平整表面，涂层厚度可能需要有0.005英寸或更厚，只有这样外部角落里、尖锐棱角和边缘处的液体涂层的厚度才能达到0.001尺寸。有些时候，基材与涂层的热膨胀系数会有所不同，导致在温度变化周期内产生机械应力。涂层越厚或温度越高，这样情况就会越严重。

        Parylene是一类特殊的热塑性聚合物家族的总称，它们在真空条件下稀薄的气体中形成并附着在表面。这些线性聚合物每单位厚度都有超强的屏蔽性能，具有极好的化学惰性及无针孔性。Parylene薄膜无色透明。液体涂层的平均厚度几乎为Parylene的额定厚度的10倍左右。Parylene在密闭的沉积过程中从粉末状原材料转化为气体，当它沉积在基材上时就形成了高分子膜。Parylene在大约0.1的真空室内形成。这时气体分子的平均自由程只有0.1厘米。因而沉积不会是直线型的，待涂敷封装物体的所有部分都会受到聚合气体不规则的撞击。　　

         由于高分子膜是均匀形成的，与液体涂层相比，少量薄薄的一层Parylene就能完全满足物理防护和电气防护的要求。

         Parylene真空沉积工艺的一个重要优点就是操作方便。小的部件可以批量进行，无需夹具。具有专利技术的高产量工艺也已经开发出来，成千上万的小部件产品都能批量进行清洁和准确的涂敷。可重复进行的Parylene涂层工艺能保证每一个部件或成批量部件的所有表面，都能得到准确的涂敷。相反，液体涂层工艺需要单独处理每个小部件。

       例如，使用液体涂层时，一般都要将部件散放在细筛上，从各个角度进行喷涂。接着涂层要经过固化，部件要重新摆放再喷涂，以保证所有未涂的面都能涂敷上。

       Parylene能抵制室温下的化学侵蚀，在150℃以下的所有有机溶剂里都不会溶解，而且大多数溶剂都不会对它产生渗透。即使是能通过应力-破裂作用降解其他材料的试剂也不能影响它们。            

       Parylene聚合物涂层不会改变电子元器件的电子参数。使用过Parylene涂层的器件状态稳定，响应特性几乎不会改变，使用后这些器件从电气、物理和化学角度完全同周围环境隔离开来。