派瑞林沉积设备分为4部分，如下图所示，分别为150℃升华腔、680℃裂解腔、25℃沉积腔和-90℃的冷肼。它们是一个连续的过程， 三个腔室相互连通相辅相成，不同的温度和不同的真空度决定了它们不同的设备结构工艺。各个腔室良好的工艺结构设计又保证了Parylene膜的均匀性、 膜的质量度、成膜的速率、材料的利用率等等。当然膜的质量和Parylene原料的纯净度、质量也有密切的关联。各因素互相牵连、 互相制约，生产工艺具有很高的技术含量,所谓“三分设备七分工艺”就是这个原因吧！ 派珂纳米公司自主研发生产的派瑞林真空镀膜设备，从镀膜方式上的不同可分为：立式镀膜设备和卧式镀膜设备。
立式镀膜设备，对产品采用烤鸭式的悬挂方式进行镀膜，镀膜时为保证镀膜的均匀性，在沉积室的底部需有转动的马达，带动悬挂着的产品一起慢慢匀速转动，直至镀膜完成。 派珂公司立式镀膜设备根据沉积腔室的大小不同，可分为多种型号供客户选择。在此介绍下适用于高校研究所用的小型实验室设备，该款设备将冷阱、真空泵和主机集为一体，缩小了设备整体的占地面积，满足高校实验室寸土寸金的空间紧张的需求，同时该款设备进料口采用特殊的结构设计，使得派瑞林原料不易在石英玻璃管内壁沉积，大大减少了清理的次数。 卧式镀膜设备，对产品进行炒瓜子式的滚动涂敷的方式进行镀膜，镀膜时产品依然需要均速转动，以达到镀膜产品完好的外观。适用于该方式的镀膜产品有磁材材料、密封圈、动物标签等尺寸较小的产品。 派珂公司为提高滚镀涂敷的产能，在研发团队和机械团队的共同努力下，研发制造出较大沉积腔室的卧式，降低了涂敷价格，提高了涂敷效率。 派珂公司的派瑞林真空气相沉积镀膜设备，关键的真空和加热部件，如真空计、真空泵、加热器、PLC等，都选用进口配置，工艺稳定可靠，设备寿命更有保障；设备气化升华部分采用可移动式结构设计，以避免意外断电时对产品的影响。