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贯穿派瑞林膜沉积过程始终的“温度”对成膜有何影响?
发布日期:2021-12-24 16:51 发布人:admin
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派瑞林涂层的气相沉积制备过程分三部分完成:
1、粉末状对二甲苯100℃升华
2、二聚体气体680℃裂解
3、活性派瑞林单体常温沉积
贯穿派瑞林膜沉积过程始终的“温度”对成膜有何影响? 
上述三个过程都和温度息息相关,那么“温度”对派瑞林沉积的过程是否有影响呢?答案不言而喻。
首先来看升华温度,不同类型的派瑞林原料起始升华温度有所不同,温度过低气化速度慢,成膜时间长,所谓“慢工出细活”,如果不在意沉积成本,那么这个条件下沉积的膜层密实无孔、质地细腻,膜层的防护效果也是超级棒的。但现实中,很少有商品不顾成本而言其他,那么就会提高升华温度,增大升华速率,但升华速率也不能无节制的增加,因为升华的过快,第二阶段的裂解跟不上步伐,就会出现裂解不充分的情况,也就是说分子健没有断开,没有形成派瑞林单体,那么这种状态的气体进入到沉积区,形成的不再是透明的聚对二甲苯薄膜,而是布满密密麻麻白色颗粒的膜层,可想而知,这种膜层致密性差,防护性能低,降低成本的同时,也降低了防护效果,反而是“弄巧成拙”了。
再来谈谈沉积区温度,沉积区较理想的温度范围是30-45℃,在此温度范围内更利于派瑞林单体的聚合,同时,可增加原材料的利用率,且沉积的聚对二甲苯薄膜质地密实无孔,可有效阻隔水汽。而温度过高或者过低则不利于Parylene单体的聚合,这就是为什么冬天沉积聚对二甲苯膜要兼顾外界温度的原因,而夏天可以完全不用考虑外界温度对沉积过程的影响。
“温度”贯穿聚对二甲苯沉积过程的始终,每个阶段的温度都有其设定的理由,不得随意改变,一旦走了捷径,会以糟糕的膜层反馈给操作者。

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