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Parylene在MEMS的应用
发布日期:2021-10-29 15:42 发布人:admin
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Parylene在MEMS(微电子机械系统)领域的应用在90年代后期得到了快速的发展, Parylene由于其较低的杨氏模量和液/气渗透率、无应力均匀覆盖性和化学惰性, 广泛应用在微流体器件中, 如Parylene 微阀、质谱分析的Parylene 微喷嘴 、自适应流程控制的Parylene 扑翼、Parylene电泳微通道、Parylene气相色谱柱 、Parylene微泵等。
 
Parylene作为可植入材料, 主要是由于材料本身良好的生物相容性。生物体内复杂的体液环境,会腐蚀大多数的MEMS和微电子材料, 然而却不会影响Parylene, 这是由于Parylene不会在体液环境下被水降解。Parylene作为植入微电极阵列和微器件的包装材料, 实验报道具有很好的生物相容性和生物稳定性, 能够长期植入生物体中, 此外, 由于其良好的防渗透性, 能够很好地保护微器件不被腐蚀 。
 
经 Parylene 涂敷过的集成电路芯片,其 25um 细直径连接线,连接强度可提高 5-10 倍,保证产品可靠性。同时Parylene 有很好的隔绝水气的作用,减少产品受水气影响而损坏或者不稳定。
 

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