常用制备派瑞林的方法是化学气相沉积法(CVD)，是反应物质在气态条件下发生空间气相化学反应，在固态基体表面直接生成固态物质，进而在基材表面形成涂层的一种工艺技术。
派瑞林薄膜制备过程分为三步：单体的汽化、裂解、在基材表面进行附着沉积。
1、在真空环境下，固体四氯代对二甲苯环二体在100℃左右升华为气态；
2、在680℃左右四氯代对二甲苯环二体裂解成带自由基的活性2,5-二氯对二亚甲基苯；
3、在室温(35℃)条件下，游离态的2,5-二氯对二亚甲基苯在固态基材表面沉积聚合，形成一层无针孔的保形性薄膜。
