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【聚对二甲苯涂层加工】聚对二甲苯在MEMS的应用

发布日期：2021-12-24 14:33 发布人：admin

应用：
在MEMS应用中，聚对苯薄膜表现出一些非常有用的特性。这些特性包括：非常低的内应力、可以在室温下淀积、保角涂覆、化学惰性以及刻蚀选择性。聚对二甲苯膜用作电绝缘层、化学防护层、保护层和密封层是十分理想的。聚对二甲苯已用来做微流控沟道、阀门和传感器(加速度传感器，压力传感器，麦克风和切应力传感器)。通常采用控制二聚物的量来调控聚对二甲苯覆盖层的厚度。在原位探测聚对二甲苯厚度的监控器与末端探测器已经研制出来。

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