各种材料常用的性能参数见下表
Parylene N |
Parylene C |
Parylene D |
环氧树脂 ER |
有机硅树脂 SR |
聚氨酯 UR |
聚丙烯酸酯 AR/UV |
||
介电强度DC(V/mil) |
7000 |
5600 |
5500 |
900-1000 |
1100 |
1400 |
1200 |
|
体积电阻(W·cm) 23°C 50%RH | 1.4´1017 | 6-8´1016 | 1.2´1016 | 1012-17 | 1015-16 | 1011-15 | 1013-14 | |
表面电阻(W) | 1013 | 1014 | 1016 | 1013 | 1013 | 1014 | ||
介电常数 |
60Hz | 2.65 | 3.15 | 2.84 | 3.5-5.0 | 2.7-3.1 | 5.3-7.8 | |
1KHz | 2.65 | 3.10 | 2.82 | 3.5-4.5 | 2.6-2.7 | 5.4-7.6 | 4-5 | |
1MHz | 2.65 | 2.95 | 2.80 | 3.3-4.0 | 2.6-2.7 | 4.2-5.2 | 3-4 | |
介电损耗 |
60Hz | 0.0002 | 0.020 | 0.004 | 0.002-0.01 | 0.001-0.007 | 0.015-0.05 | |
1KHz | 0.0002 | 0.019 | 0.003 | 0.002-0.02 | 0.001-0.005 | 0.04-0.06 | ||
1MHZ | 0.0006 | 0.013 | 0.002 | 0.03-0.05 | 0.001-0.002 | 0.05-0.07 | 0.035-0.056 | |
1GHz | <0.007 |
Parylene C 厚度(in) |
初始测量23°C 50%RH |
预循环23°C 90%RH |
循环 3 第五步 65°C 90%RH |
循环 7 第五步 65°C 90%RH |
循环 10 第五步 65°C 90%RH |
循环 10 第七步 25°C 90%RH |
0.0020 | 2.0´1014 | 1.8´1013 | 2.3´1012 | 2.5´1011 | 1.4´1011 | 7.5´1012 |
0.0015 | 5.0´1014 | 2.4´1013 | 8.6´1011 | 1.9´1011 | 1.1´1011 | 5.2´1012 |
0.0010 | 2.0´1014 | 9.2´1012 | 8.1´1011 | 3.4´1011 | 1.3´1011 | 6.3´1012 |
0.0005 | 5.0´1014 | 2.3´1013 | 4.1´1012 | 2.4´1011 | 1.1´1011 | 4.7´1012 |
0.0003 | 5.0´1014 | 2.7´1013 | 4.4´1012 | 9.0´1010 | 4.7´1010 | 2.9´1012 |
0.0001 | 5.0´1014 | 3.2´1010 | 1.3´1011 | 1.1´1011 | 6.4´1010 | 2.3´1012 |
性能 |
Parylene N |
Parylene C |
Parylene D |
环氧树脂 ER |
有机硅树脂 SR |
聚氨酯 UR |
聚丙烯酸酯 | |
抗拉强度 MPa | 45 | 70 | 75 | 28-91 | 5.6-7 | 1.13-70 | 32-77 | |
屈服强度 MPa | 42 | 55 | 60 | |||||
断裂延伸 | 20-250 | 200 | 10 | 3-6 | 100 | 100-1000 | 3-85 | |
密度 g/cm3 | 1.10-1.12 | 1.289 | 1.418 | 1.11-1.40 | 1.05-1.23 | 1.10-2.50 | ||
D 折光指数 n23 |
1.661 | 1.639 | 1.669 | 1.55-1.61 | 1.43 | 1.50-1.60 | ||
吸水性 24 小时 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.08-0.15 | 0.12(7 天) | 0.02-4.50 | ||
硬度 | R85 | R80 | R80 | M80-110 |
40-45 (肖氏) |
10A-25D (肖氏) |
H-2H | |
摩擦系数 | 静态 | 0.25 | 0.29 | 0.33 | 1.0 | |||
动态 | 0.25 | 0.29 | 0.31 | |||||
熔点 °C | 420 | 290 | 380 | 固化~220 | 固化 | ~170 | ||
25°C 线膨胀系数 10-5/°C |
6.9 | 3.5 | 3-8 | 4.5-6.5 | 25-30 | 10-20 | 0.5-15 | |
25°C 导热性104cal/cm·s·°C | 3.0 | 2.0 | 4-5 | 3.5-7.5 | 5.0 | |||
20°C 比热 cal/g ·°C |
0.20 | 0.17 | 0.25 | 0.42 |
25°C 时的气体渗透性 (cm3(STP) ·mil)(100in2/d·atm) |
90 RH 37°C 水蒸汽渗透 (g·mil/100in2·d) |
|||||||
H2 | N2 | O2 | CO2 | SO2 | H2S | Cl2 | ||
Parylene N | 540 | 7.7 | 39 | 214 | 1890 | 795 | 74 | 1.50 |
Parylene C | 110 | 1.0 | 7.2 | 7.7 | 11 | 13 | 0.35 | 0.21 |
Parylene D | 240 | 4.5 | 32 | 13 | 4.75 | 1.45 | 0.55 | 0.25 |
环氧树脂 | 110 | 4 | 5-10 | 8 | 6.6 | |||
有机硅树脂 | 45000 | 50000 | 300000 | 220 | ||||
聚氨酯 | 80 | 200 | 3000 | 20.2 | ||||
聚丙烯酸酯 | 152 | 716 | 1433 | 27.8 |
溶剂 | Parylene 厚度变化(%) | ||
N | C | D | |
异丙醇 | 0.3 | 0.1 | 0.1 |
异辛烷 | 0.2 | 0.4 | 0.3 |
吡啶 | 0.2 | 0.5 | 0.5 |
混合二甲苯 | 1.4 | 2.3 | 1.1 |
三氯乙烯(TCE) | 0.5 | 0.8 | 0.8 |
氯苯 | 1.1 | 1.5 | 1.5 |
二氯苯 | 0.2 | 3.0 | 1.8 |
三氯三氟乙烷 | 0.2 | 0.2 | 0.2 |
丙酮 | 0.3 | 0.9 | 0.4 |
2.4 一戊二酮 | 0.6 | 1.2 | 1.4 |
去离子水 | 0 | 0 | 0 |
试剂品种 | 浓度 | Parylene 厚度变化( %) | ||
N | C | D | ||
盐酸 | 10% | 0.0 | 0.0 | 0.1 |
浓盐酸 | 37% | 0.2 | 0.0 | 0.5 |
硫酸 | 10% | 0.1 | 0.3 | 0.2 |
浓硫酸 | 95-98 | 0.2 | 0.4 | 0.8 |
硝酸 | 10% | 0.1 | 0.1 | 0.2 |
浓硝酸 | 71% | 0.2 | 0.2 | 0.5 |
铬酸 | 10% | 0.1 | 0.1 | 0.1 |
浓铬酸 | 74% | 0.3 | 0.0 | 0.2 |
强碱(氢氧化钠) | 10% | 0.1 | 0.0 | 0.1 |
弱碱(氢氧化铵) | 10% | 0.3 | 0.2 | 0.1 |
材料 | Parylene C | Parylene N | 聚四氟乙烯 | 高抗冲聚氯乙烯 | 环氧树脂 | 聚氨酯 |
磨耗值 | 22.5 | 8.8 | 8.4 | 24.4 | 41.9 | 59.5 |
Parylene C | 环氧树脂 | 有机硅树脂 | 聚氨酯 | |
通常使用厚度(mm) | 15 | 63 | 63 | 63 |
透湿量/100 吋 2 24 小时 37°C 90 RH |
0.8 |
2.8 |
120 |
4.8 |
击穿电压(V) | 3500 | 5700 | 5000 | 8700 |
绝缘电阻 (欧姆/厘米 2) |
9.2´1013 | 6.4´1011 | 6.4´1012 | 1.3´1013 |
导热性 (卡/秒/厘米 2·°C) |
~0.2 |
0.08 |
0.08 |
0.08 |
Parylene | 环氧树脂 | 有机硅树脂 | 聚氨酯 | 聚丙烯酸酯 | |
介电性能 | E | M | VG | M | G |
机械强度 | E | VG | M | VG | G |
薄涂层均匀性 | E | G | G | G | G |
柔顺性 | VG | L | VG | VG | M |
耐磨性 | E | VG | L | VG | M |
吸水性 | E | VG | M | G | G |
耐溶剂耐霉性 | E | VG | M | VG | L |
耐盐雾性、耐腐蚀性 | E | VG | M | G-M | M-L |
气体、潮湿屏障性 | E | VG | M | G | VG |
热膨胀系数 | E | VG | L | M | G |
不污染性 | E | G | L | G | G |
不产生应力和针孔 | E | M | M | M | M |
固定微粒作用 | E | L | L | L | L |
对基材粘结性 | G* | VG | M | G | VG |
可修理性 | G* | L | M | G | VG |