它是在室温条件下气相沉积获得的薄膜物质，可以生成数百微米内任何厚度的薄膜。利用真空沉积技术可以将膜厚精度控制在1μm。此外，真空沉积的帕利灵具有均一性、保形性，无微孔无缺陷，化学性质不活泼等优良特性。
制备：
聚对二甲苯的物理气相淀积是在真空腔中实施的，进入气化室时呈颗粒状。以C型聚对二甲苯为标准，温度逐渐升高到100℃，这是二聚体的初始蒸发温度。接着，聚对二甲苯被热解使其二聚体裂成单自由基对二甲苯(680℃)。在淀积室内(35℃)，单体聚集到所有裸露面上，以约2μm/h的速率聚合成C型聚对二甲苯。最近研制出一种通过在淀积室改进样品添加装置来直接淀积聚对二甲苯为纳米结构薄膜的工艺。