材料特性：
聚对二甲苯化学性质不活泼，表面涂层保形，而且是一种很好的聚合物绝缘层。历史上，它被用作医用涂料、植入式神经丝探针的绝缘层、层间电介质，并且在1997进入MEMS领域，成为流体互连的涂层材料。聚对二甲苯因其淀积方式(真空中)、无针孔淀积、低加工温度、透明度和微加工工艺的兼容性成为一种流行的标准MEMS材料。自其进人MEMS领域以来，已被开发成各种各样MEMS应用中的结构材料。聚对二甲苯的碳化/裂化和离子注入工艺也被应用于MEMS中作为牺牲或传感材料。聚对二甲苯结构的进一步改进已经在研究中，特别是在生物学和生物医学应用方面。
